硼-11同位素衍生产品可用于半导体芯片

发表时间:2022-09-28 访问量:24314

      硼-11同位素衍生产品可用于半导体芯片、太阳能电池板制作,作为P型掺杂剂离子注入,可使硅离子布植更紧密,产生更高束流,并提高源极化效率,从而生产出高度集成、高密度的微型芯片。

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      高丰度硼-11酸作为优良的硼掺杂剂,在半导体芯片制造业中起到举足轻重的作用。由于硼-10极易捕获中子,如将自然丰度的硼作为掺杂剂,芯片则没有抗辐射能力,来自宇宙射线的干扰会导致芯片出现空穴造成晶格缺陷,从而使芯片运算出错。因此只有高丰度的硼-11才能作为掺杂剂使用。

      随着公司硼-10技术的不断发展,硼-11酸已经实现工业化生产,过程质量可控,产品质量稳定,可为更多新材料的开发与高新技术产业提供有力支撑。 



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